带集成探测器的电子显微镜专利登记公告

专利名称：带集成探测器的电子显微镜

摘要：一种电子显微镜，包括用于容纳待分析样本的真空室，包括电子源和用于聚焦从电子源发出的电子的最终形成探针的透镜的光学柱，位于真空室中、形成探针的透镜下方用于保持样本的样本台，以及位于真空室中的X射线探测器。X射线探测器包括对X射线敏感的固态传感器和用于在真空室中支持及定位探测器包括传感器的机械支持系统。机械支持系统整体容纳在真空室中。多个不同类型的探测器可在真空室中支持在机械支持系统上。机械支持系统也可包括至少一个用于热电冷却X射线传感器的热电冷却元件。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080031592.3

专利申请（专利权）人：FEI公司

专利发明（设计）人：F.H.尚伯;C.G.范比克

主权项：?一种电子显微镜，包括：真空室，用于容纳待分析样本；光学柱，包括电子源和用于聚焦从所述电子源发出的电子的最终形成探针的透镜；样本台，定位在所述真空室中、所述形成探针的透镜下方，用于保持样本；X射线探测器，定位在所述真空室中，所述X射线探测器包括对X射线敏感的固态传感器和用于在所述真空室中支持及定位所述探测器包括所述传感器的机械支持系统；其特征在于所述机械支持系统整体容纳在所述真空室中。

专利地区：美国