非水系光阻剥离剂组成物专利登记公告

专利名称：非水系光阻剥离剂组成物

摘要：本发明涉及一种非水系光阻剥离剂组成物，其包括(a)5-30重量％的碱性化合物、(b)20-80重量％的酰胺化合物、(c)10-70重量％的极性溶剂，以及(d)0.0-10重量％的烷醇胺盐。本发明提供一种新型的光阻剥离剂组成物，所述光阻剥离剂组成物可以在短时间内、无腐蚀地去除蚀刻残渣和在制造平板显示器用薄膜晶体管过程中变性的光阻，以实现高分辨率平板显示器。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080036646.5

专利申请（专利权）人：东友 FINE-CHEM 股份有限公司

专利发明（设计）人：朴勉奎;金正铉;李承傭;金炳默

主权项：一种非水系光阻剥离剂组成物，其包含：(a)由以下式1表示的碱性化合物；(b)由以下式2表示的酰胺化合物；(c)极性溶剂；及(d)烷醇胺盐；<式1><式2>其中R1、R2及R3各自独立地为氢、经胺基取代或未经胺基取代的C1～10直链或支链烷基、C2～10烯基、C1～10羟烷基、羧基、或经C1～10直链或支链烷基取代或未经C1～10直链或支链烷基取代的C1～10烷氧基，而该C1～10直链或支链烷基经羟基取代或未经羟基取代，以及R4、R5及R6各自独立地为氢、C1～10直链或支链烷基、C2～10烯基、C1～10

专利地区：韩国