将气态测试样品从生产工艺转移的装置以及该装置的使用专利登记公告
专利名称:将气态测试样品从生产工艺转移的装置以及该装置的使用
摘要:本发明公开了一种优选在多晶硅生产过程中,用于提取要测量的气态样本的装置和系统。根据本发明的装置是放置在排气管(11,21,41)的各至少两个导管部(11a、11b、21a、21b、41a、41b)之间的法兰状装置(80)。
专利类型:发明专利
专利号:CN201080039357.0
专利申请(专利权)人:G+R技术集团股份有限公司
专利发明(设计)人:罗伯特 许德克林ㄦ
主权项:一种用于将气态测试样品从生产工艺转移的装置,其中提供反应气体可经由导管系统(11)供应和/或排放的至少一个反应器(10),其中所述导管系统(11)至少具有第一导管部(11a)和第二导管部(11b),各第一导管部(11a)和第二导管部(11b)由法兰(70、71)连接,其特征在于,所述装置是放置在所述导管系统(11)的所述第一导管(11a)部和所述第二导管部(11b)之间的法兰状装置(80),其中所述法兰状装置(80)具有用于气体混合物通道的导管部(81)以及干涉(interferes?with)所述导管部
专利地区:德国
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