用于生产多晶硅的反应器专利登记公告

专利名称：用于生产多晶硅的反应器

摘要：本发明公开了一种用于生产多晶硅的反应器（10），包括显示出多个喷嘴（40）的反应器基底（12），通过喷嘴（40）含硅气体流入反应器（10）。在反应器基底（12）的外表面（33）上，空腔（71）由这个外表面（33）和壁（70）限定，该空腔（71）提供含硅气体到至少一部分喷嘴（40）的分配。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080039358.5

专利申请（专利权）人：G+R技术集团股份有限公司

专利发明（设计）人：罗伯特许德克林ㄦ

主权项：一种用于生产多晶硅反应器（10）具有：反应器基底（12）；所述反应器基底携载多个喷嘴（40），其中各喷嘴（40）具有形成含硅气体到反应器内部（11）的横切的喷嘴入口（42）和喷嘴出口（43），其特征在于，至少一个壁（70）具有这样的形状使其和所述反应器基底（12）的外表面（33）一起限定至少一个空腔（71），所述空腔（71）提供含硅气体到所述空腔（71）与其连通的至少一部分所述喷嘴（40）的分配系统，并且其中所述壁（70）以气体不能透过去的方式以这样的一种方式附接所述反应器基底（12），使得所述空腔（71

专利地区：德国