计量系统以及方法专利登记公告

专利名称：计量系统以及方法

摘要：提供了各种计量系统以及方法。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080039744.4

专利申请（专利权）人：克拉-坦科股份有限公司

专利发明（设计）人：D·坎戴尔;V·列文斯基;A·斯维泽;J·塞利格松;A·希尔;O·巴卡尔;A·马纳森;Y-H·A·庄;I·塞拉;M·马克维兹;D·纳格利;E·罗特姆

主权项：一种计量系统，包括：被配置成产生衍射受限光束的光源；变迹器，所述变迹器被配置成在照射光学器件的入射光瞳中以在晶片平面中距照射斑的中心远于1.5微米的辐照度小于所述斑的中心的峰值辐照度的10?6的方式使所述光束成形；光学元件，所述光学元件被配置成将所述衍射受限光束从所述变迹器定向到晶片上的光栅靶上的所述照射斑并且收集来自所述光栅靶的散射光；被配置成拒绝一部分所收集散射光的视场光阑；检测器，所述检测器被配置成检测穿过所述视场光阑的散射光并且响应于检测到的散射光生成输出以使所述光栅靶由所述计量系统使用散射计量来

专利地区：美国