碱产生剂、感光性树脂组合物、由该感光性树脂组合物形成的图案形成用材料、使用该感光性树脂组合物的图案形成方法以及物品专利登记公告

专利名称：碱产生剂、感光性树脂组合物、由该感光性树脂组合物形成的图案形成用材料、使用该感光性树脂组合物的图案形成方法以及物品

摘要：本发明提供一种感光性树脂组合物及可利用于这样的感光性树脂组合物的碱产生剂，所述感光性树脂组合物的分辨性优异、成本低且通过碱性物质或通过在碱性物质的存在下的加热而生成最终产物的反应得到促进的高分子前体在结构上可应用的选择范围宽。所述碱产生剂的特征在于具有特定的结构且通过照射电磁波和加热来产生碱，所述感光性树脂组合物的特征在于含有：碱产生剂及通过碱性物质或通过在碱性物质存在下的加热而生成最终产物的反应得到促进的高分子前体。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080042078.X

专利申请（专利权）人：大日本印刷株式会社

专利发明（设计）人：片山麻美;福田俊治;坂寄胜哉

主权项：一种碱产生剂，包括在一个分子中具有两个以上下述通式(1)所示的部分结构的化合物，该碱产生剂通过电磁波的照射和加热来产生碱，[化学式1]通式(1)通式(1)中，R1及R2分别独立地为氢或有机基团，可以相同也可以不同，其中，R1及R2中的至少一个为有机基团，对R1及R2而言，它们可以结合形成环状结构，也可以包含杂原子的键，但不包含酰胺键，R3及R4分别独立地为氢、卤素、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、亚磺基、磺基、磺酸根基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸根基或有机基团，可以相同也可以不同。F

专利地区：日本