用于对准两个衬底的设备专利登记公告

专利名称：用于对准两个衬底的设备

摘要：用于使可以接纳在第一平台（10）上的第一衬底（1）的第一接触面（1k）与可以接纳在第二平台（20）上的第二衬底（2）的第二接触面（2k）对准的设备和方法，具有以下特征：可以通过第一检测装置（7,7’）在与第一衬底（1）的移动无关的第一X-Y坐标系中的第一平面（5）中检测沿着第一接触面（1k）布置的第一对准键（3.1至3.n）的第一X-Y位置，可以通过第二检测装置（8,8’）在与第二衬底（2）的移动无关的第二X-Y坐标系中的与第一X-Y平面（5）平行的第二X-Y平面（6）中检测沿着第二接触面（2k）布置的与

专利类型：发明专利

专利号：CN201080042282.1

专利申请（专利权）人：EV集团E·索尔纳有限责任公司

专利发明（设计）人：D·菲古拉

主权项：用于使能接纳在第一平台（10）上的第一衬底（1）的第一接触面（1k）与能接纳在第二平台（20）上的第二衬底（2）的第二接触面（2k）对准的设备，具有以下特征：??能通过第一检测装置（7,7’）在与第一衬底（1）的移动无关的第一X?Y坐标系中的第一X?Y平面（5）中检测沿着第一接触面（1k）布置的第一对准键（3.1至3.n）的第一X?Y位置，??能通过第二检测装置（8,8’）在与第二衬底（2）的移动无关的第二X?Y坐标系中的与第一X?Y平面（5）平行的第二X?Y平面（6）中检测沿着第二接触面（2k）布置的与

专利地区：奥地利