降低复杂度的薄膜电池方法专利登记公告

专利名称：降低复杂度的薄膜电池方法

摘要：叙述一种降低复杂度的薄膜电池方法。在此还叙述适用于支援降低复杂度的薄膜电池方法的处理设备配置。在此还描述支援降低复杂度的薄膜电池方法的群组工具(cluster?tool)。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080045805.8

专利申请（专利权）人：应用材料公司

专利发明（设计）人：秉-圣·郭;尼蒂·M·克里希纳

主权项：一种制造薄膜电池的方法，所述方法包含：在基板上方形成所述薄膜电池的阴极层；以及在不让所述阴极层曝露至空气环境的情况下，在所述阴极层上形成电解质层。

专利地区：美国

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