用于制造薄膜电池的方法与工厂专利登记公告

专利名称：用于制造薄膜电池的方法与工厂

摘要：本文描述用于制造薄膜电池的方法与工厂。方法包括用于制造薄膜电池的操作。工厂包括用于制造薄膜电池的一个或更多个工具组。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080047312.8

专利申请（专利权）人：应用材料公司

专利发明（设计）人：秉-圣·郭;斯蒂芬·班格特;迪特尔·哈斯;奥姆卡拉姆·诺拉马苏

主权项：一种用于锂基薄膜电池制造的工厂布局，所述工厂布局包括：第一处理工具，所述第一处理工具用以沉积金属或半导体层；第二处理工具，所述第二处理工具用以沉积有源层；第三处理工具，所述第三处理工具用以进行快速热处理；第四处理工具，所述第四处理工具用以沉积介电层；第五处理工具，所述第五处理工具用以执行反应性离子蚀刻；以及第六处理工具，所述第六处理工具用以沉积薄膜电池的特制层。

专利地区：美国