用于自组装单层(SAM)的介电保护层专利登记公告

专利名称：用于自组装单层(SAM)的介电保护层

摘要：本发明涉及介电保护层，其中包埋有纳米颗粒以增加介电常数，该纳米颗粒由保护壳包裹以防止团聚，从而获得了用于沉积超薄膜的小粒径。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080046764.4

专利申请（专利权）人：西门子公司

专利发明（设计）人：T.齐玛;G.加恩威特纳;G.施米德;D.塔洛塔

主权项：用于自组装单层的保护层，其包括具有较高介电常数的氧化性纳米颗粒，其中所述氧化性纳米颗粒具有小于50nm的平均粒径并且具有稳定使其不团聚和聚集的保护壳。

专利地区：德国