真空处理装置、图表显示方法专利登记公告

专利名称：真空处理装置、图表显示方法

摘要：本发明能提取测定值的一部分进行图表化以简单地对提取的测定值彼此进行比较。读入大量的测定值并将其作为一次图表（132）显示在画面（100）上，对起点进行指示并提取成为比较对象的测定值，利用二次图表（134a、134b）显示所提取的测定值。在二次图表（134a、134b）不重合时，通过第一、第二主测量线（101、102）对图表线（134a、134b）的错开量进行测定，能使错开的二次图表（134a、134b）的一方移动而实现重合。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080047322.1

专利申请（专利权）人：株式会社爱发科

专利发明（设计）人：山根克己;猿渡治郎;平木勉

主权项：一种真空处理装置，其具有：对配置于真空槽内的处理对象物进行真空处理的真空处理部、将所述真空处理部输出的多个测定值与测定时刻一起与所述真空处理相对应地存储起来的存储装置、对所述测定值进行运算的运算装置、以及显示所述运算装置的运算结果的显示装置，其中，在所述存储装置中存储有数据分析程序，所述数据分析程序被构成为：当从存储在所述存储装置内的多个所述测定值中选择显示图表线的测定值时，将被选择的所述测定值的所述测定时刻，换算成作为从规定的基准时刻起的时间的X轴上换算时刻，将X?Y坐标的X轴上的规定位置作为所述基准时

专利地区：日本