用于抑制金属微细结构体的图案倒塌的处理液和使用其的金属微细结构体的制造方法专利登记公告
专利名称：用于抑制金属微细结构体的图案倒塌的处理液和使用其的金属微细结构体的制造方法
摘要：含有选自由具有氟烷基的卤化铵、具有氟烷基的甜菜碱化合物、以及具有氟烷基的氧化胺化合物组成的组中的至少一种的用于抑制金属微细结构体的图案倒塌的处理液、以及使用该处理液的金属微细结构体的制造方法。
专利类型：发明专利
专利号：CN201080047541.X
专利申请（专利权）人：三菱瓦斯化学株式会社
专利发明（设计）人：大户秀;松永裕嗣;山田健二
主权项：一种用于抑制金属微细结构体的图案倒塌的处理液，其含有选自由具有氟烷基的卤化铵、具有氟烷基的甜菜碱化合物、以及具有氟烷基的氧化胺化合物组成的组中的至少一种。
专利地区：日本
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