具有多束的带电粒子光学系统专利登记公告

专利名称：具有多束的带电粒子光学系统

摘要：本发明涉及一种多束带电粒子光学系统，包括：带电粒子源，用于产生多个带电粒子子束；以及带电粒子光学器件，用于使来自带电粒子源的带电粒子子束指向目标，其中，各带电粒子子束限定子束中心线，所述带电粒子光学器件包括一个以上静电透镜阵列，各静电透镜阵列包括用于产生多个静电子透镜的两个以上阵列电极，其中，各子透镜被设置用于聚焦相应的带电粒子子束，以及其中，各子透镜限定子透镜光轴，其中，至少一个所述一个以上静电透镜阵列包括一个以上偏轴静电子透镜，其中，相应的带电粒子子束的子束中心线在距离其子透镜光轴一段距离处穿过偏轴静

专利类型：发明专利

专利号：CN201080050765.6

专利申请（专利权）人：迈普尔平版印刷IP有限公司

专利发明（设计）人：彼得·克勒伊特;阿尔瑙特·克利斯蒂安·佐尼维勒

主权项：多束带电粒子光学系统，包括：带电粒子源，用于产生多个带电粒子子束，带电粒子光学器件，用于使来自所述带电粒子源的所述带电粒子子束指向目标，其中，各带电粒子子束限定一子束中心线，所述带电粒子光学器件包括一个以上静电透镜阵列，各静电透镜阵列包括用于产生多个静电子透镜的两个以上阵列电极，其中，各子透镜被设置用于使相应的带电粒子子束聚焦，以及其中，各子透镜限定一子透镜光轴，其特征在于：所述一个以上静电透镜阵列中的至少一个包括一个以上偏轴静电子透镜，其中，所述相应的带电粒子子束的所述子束中心线在距离所述偏轴静电子透镜

专利地区：荷兰