用于测量等离子体参数的传感器专利登记公告

专利名称：用于测量等离子体参数的传感器

摘要：本发明公开了一种测量在等离子体和与该等离子体连通的电极之间的离子电流的方法。在该电极处的时变电压和流过该电极的时变电流被测量。该方法包括：对多个电压值的每一个值v′，记录多个即n个电流值I(v′)；以及从该电流和电压值中获得该离子电流的值。该电极与该等离子体通过绝缘层绝缘，以使得该电流值没有直流分量。该方法包括执行数学变换来有效地把该电流和电压值表达成流过该电极的电流的实部分量与该电压之间的关系，从而消除对于流过该电极的电流的电容性贡献；从流过该电极的电流的实部分量中，把由离子电流引起的隔离贡献与电阻项隔

专利类型：发明专利

专利号：CN201080042366.5

专利申请（专利权）人：多纳尔·奥沙利文;保罗·斯卡林

专利发明（设计）人：多纳尔·奥沙利文;保罗·斯卡林

主权项：一种测量等离子体与电极之间离子电流的方法，其中所述电极与等离子体连通，并且在所述电极测量时变电压以及经由所述电极测量时变电流，该方法包括步骤：(a)对多个电压值的每一个值v′，记录多个即n个电流值I(v′)；以及(b)从所述电流和电压值中获得所述离子电流的值；其中：所述电极与所述等离子体通过绝缘层绝缘，以使得所述电流值没有直流分量；以及获得所述离子电流的值的所述步骤包括执行数学变换来有效地：(i)把所述电流和电压值表达成通过所述电极的电流的实部分量与该电压之间的关系，从而消除对于流过该电极的电流的电容性贡

专利地区：爱尔兰