用于高真空室的穿入式等离子体发生器专利登记公告

专利名称：用于高真空室的穿入式等离子体发生器

摘要：等离子体发生器，包括：高真空处理室；变压器型等离子管，与所述高真空处理室耦接；以及至少一个气体源，与所述变压器型等离子管耦接，用于引入至少一种气体到所述变压器型等离子管中，所述高真空处理室包括至少一个入口，所述变压器型等离子管包括：射频功率源，用于产生交变电力；多个导体，与所述射频功率源耦接；闭合回路放电室，用于限制所述气体；多个高磁导率磁芯，围绕所述闭合回路放电室的在外部分耦接并与所述多个导体耦接；多个开孔，沿所述闭合回路放电室的在内部分设置；以及至少两个介电垫圈，用于将所述在内部分与所述在外部分耦接，

专利类型：发明专利

专利号：CN201080048890.3

专利申请（专利权）人：摩赛科结晶公司

专利发明（设计）人：摩西·埃纳威

主权项：一种等离子体发生器，包括：高真空处理室；变压器型等离子管，与所述高真空处理室耦接；以及至少一个气体源，与所述变压器型等离子管耦接，用于引入至少一种气体到所述变压器型等离子管中，所述高真空处理室包括至少一个入口，所述变压器型等离子管包括：射频功率源，用于产生交变电力；多个导体，与所述射频功率源耦接；闭合回路放电室，用于限制所述至少一种气体；多个高磁导率磁芯，围绕所述闭合回路放电室的在外部分耦接并与所述多个导体耦接；多个开孔，沿所述闭合回路放电室的在内部分设置；以及至少两个介电垫圈，用于将所述在内部分与所述在

专利地区：以色列