用于等离子灰化设备的调谐硬件和使用该调谐硬件的方法专利登记公告

专利名称：用于等离子灰化设备的调谐硬件和使用该调谐硬件的方法

摘要：本发明公开了一种连续可变微波电路，所述连续可变微波电路能够被调谐以在多个不同操作条件下进行操作，所述连续可变微波电路包括：波导器，所述波导器包括具有被构造成伸入该波导器内的芯体的可调节调谐元件；致动器，所述致动器与可调节调谐元件进行可操作通信，其中致动器可操作以选择性地改变芯体伸入该波导器内的长度，以最小化等离子灰化装置中的反射微波功率；和控制器，所述控制器与致动器进行可操作通信，其中控制器被构造成根据多个不同操作条件的变化来选择性地启动致动器。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080051372.7

专利申请（专利权）人：艾克塞利斯科技公司

专利发明（设计）人：阿西木·斯里瓦斯塔瓦;罗伯特·库亚尔

主权项：一种连续可变微波电路，所述连续可变微波电路能够被调谐以在多个不同的操作条件下进行操作，所述连续可变微波电路包括：波导器，所述波导器包括具有被构造成伸入所述波导器内的芯体的可调节调谐元件；致动器，所述致动器与所述可调节调谐元件进行可操作通信，其中所述致动器能够操作以选择性地改变所述芯体伸入所述波导器内的长度，以最小化反射微波功率；和控制器，所述控制器与所述致动器进行可操作通信，其中所述控制器被构造成根据多个不同的操作条件的变化来选择性地启动所述致动器。

专利地区：美国