醌重氮化物类感光剂溶液及正性光致抗蚀剂组合物专利登记公告

专利名称：醌重氮化物类感光剂溶液及正性光致抗蚀剂组合物

摘要：为了即使不实施热变性处理，在能够抑制或防止醌重氮化物类感光剂从正性光致抗蚀剂组合物析出的同时在制备正性光致抗蚀剂组合物时使醌重氮化物类感光剂易溶于正性光致抗蚀剂组合物，将醌重氮化物类感光剂溶于有机溶剂而成的醌重氮化物类感光剂溶液含有巯基化合物作为醌重氮化物类感光剂的防析出剂。另外，正性光致抗蚀剂组合物含有碱可溶性树脂、交联剂、醌重氮化物类感光剂、作为醌重氮化物类感光剂的防析出剂的巯基化合物。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080050927.6

专利申请（专利权）人：索尼化学&信息部件株式会社

专利发明（设计）人：金谷纮希

主权项：醌重氮化物类感光剂溶液，所述溶液为醌重氮化物类感光剂溶于有机溶剂而成的醌重氮化物类感光剂溶液，其特征在于，含有巯基化合物作为醌重氮化物类感光剂的防析出剂。

专利地区：日本