用于薄膜太阳能应用的波长选择反射层的粗糙度控制专利登记公告

专利名称：用于薄膜太阳能应用的波长选择反射层的粗糙度控制

摘要：提供一种用于形成粗糙化的波长选择反射层的方法和设备。在一个实施例中，形成太阳能电池器件的方法包括在形成于基板上的第一p-i-n结和第二p-i-n结之间形成波长选择反射层，并对波长选择反射层进行后处理工艺以形成粗糙度大于20nm的不均匀表面。在另一个实施例中，光伏器件包括布置在形成于基板上的第一p-i-n结和第二p-i-n结之间的波长选择反射层，其中波长选择反射层具有不均匀表面，所述表面具有大于20nm的表面粗糙度。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080052528.3

专利申请（专利权）人：应用材料公司

专利发明（设计）人：王大鹏;盛殊然;蔡容基

主权项：一种形成太阳能电池器件的方法，包括：在形成于基板上的第一p?i?n结和第二p?i?n结之间形成波长选择反射层；和对所述波长选择反射层执行后处理工艺，以形成平均粗糙度大于20nm的不均匀表面。

专利地区：美国