具有横向稳定机构的浮动式晶片轨道专利登记公告

专利名称：具有横向稳定机构的浮动式晶片轨道

摘要：一种装置(100)，包括：处理隧道(102)，包括下隧道壁(120)、上隧道壁(130)、以及两个横向隧道壁(108)，其中所述隧道壁一起界定在传输方向(T)中延伸的处理隧道空间(104)；在上和下隧道壁中均提供的多个气体注入通道(122、132)，其中下隧道壁中的气体注入通道被设置为提供下气体轴承(124)，而上隧道壁中的气体注入通道被设置为提供上气体轴承(134)，所述气体轴承被设置为浮动地支承并容纳所述衬底位于其之间；且提供在两个所述横向隧道壁(108)中的多个排气通道(110)，其中每一个横向壁中

专利类型：发明专利

专利号：CN201080053184.8

专利申请（专利权）人：磊威技术有限公司

专利发明（设计）人：E·H·A·格兰尼曼

主权项：一种衬底处理装置(100)，包括：?处理隧道(102)，所述处理隧道包括下隧道壁(120)、上隧道壁(130)、以及两个横向隧道壁(108)，其中所述隧道壁一起界定在传输方向(T)中延伸的处理隧道空间(104)且所述隧道壁被设置为容纳被取向为与所述上和下隧道壁平行的至少一个基本平面的衬底(140)；?在所述上和下隧道壁中都提供的多个气体注入通道(122、132)，其中所述下隧道壁中的气体注入通道被设置为提供下气体轴承(124)，而上所述隧道壁中的气体注入通道被设置为提供上气体轴承(134)，所述气体轴承被

专利地区：荷兰