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用于制备立方氧化锆层的方法专利登记公告


专利名称:用于制备立方氧化锆层的方法

摘要:为了在沉积基材上产生基于氧化锆的层,使用了包含单质锆石和至少一种稳定剂的混合靶,或者使用由元素锆组成的锆靶,在该方法中使用了反应性火花蒸发,该火花蒸发使用脉冲的火花电流和/或施加了垂直于火花靶的磁场,其中除了氧气之外,将氮气用作反应性气体。作为选项,与混合靶使用相结合,除了氧气之外,氮气也可以用作反应性气体。

专利类型:发明专利

专利号:CN201080053523.2

专利申请(专利权)人:欧瑞康贸易股份公司(特吕巴赫)

专利发明(设计)人:J.拉姆;B.维德里希

主权项:?在沉积基材上产生基于氧化锆的层的方法,该方法使用反应性火花蒸发,该火花蒸发使用脉冲的火花电流和/或施加有垂直于火花靶的磁场,特征在于使用包含单质锆石和至少一种稳定剂的混合靶。

专利地区:瑞士