门阀专利登记公告

专利名称：门阀

摘要：本发明涉及一种门阀，其通过具备控制开闭部件的朝上下方向的移动的上下动作驱动器和，控制朝前后方向的移动的前后退驱动器，使打开或关闭晶片的移动通道的开闭部件正确的以“L”字形动作，这是本发明的优点。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080055034.0

专利申请（专利权）人：普利西斯株式会社

专利发明（设计）人：金培镇

主权项：一种门阀，其特征在于，包括：开闭部件(100)，用于打开或关闭半导体晶片的移动通道；前后退驱动器(200)，包括：第一气缸(210)，设于所述开闭部件(100)的背面，在内部后侧形成有第一流路(1)，在前侧形成有第二流路(2)，在正面形成有盖子(221)；第一活塞(220)，设置在所述第一气缸(210)的内部，通过流入到所述第一流路(1)和第二流路(2)的压缩空气进行前后动作；连接部件(B)，用于连接所述第一活塞(220)和开闭部件(100)，上下动作驱动器(300)，包括：多个第二气缸(310)，形成在

专利地区：韩国