等离子体点火装置，等离子体点火方法及等离子体发生装置专利登记公告

专利名称：等离子体点火装置，等离子体点火方法及等离子体发生装置

摘要：本发明的课题在于，提供不需要监视或不需要手工动作、能容易且确实地进行等离子体点火或再点火的等离子体点火技术。本发明的解决手段在于，等离子体点火装置包括：高频电源装置(101)，向用于使得发生等离子体的负载电极(114)供给所定的高频信号(HS)；匹配装置(105)，使得高频电源装置侧和负载电极侧的阻抗匹配；前进波/反射波检测装置(102)，检测高频信号(HS)的前进波及反射波；高压发生装置(103)，发生所定的高压(HV)；以及控制装置(100)，当反射波相对前进波的比率比第一阈值大场合，将高压HV叠加在

专利类型：发明专利

专利号：CN201080055528.9

专利申请（专利权）人：株式会社新川

专利发明（设计）人：歌野哲弥;前田徹;高平淳一;浜岛正典

主权项：一种等离子体点火装置，其特征在于，包括：高频电源装置，向使得发生等离子体的负载电极供给所定的高频信号；匹配装置，使得上述高频电源装置侧和上述负载电极侧的阻抗匹配；前进波/反射波检测装置，检测上述高频信号的前进波及反射波；高压发生装置，发生所定的高压；以及控制装置，当上述反射波相对上述前进波的比率比第一阈值大场合，将上述高压叠加在上述高频信号上。

专利地区：日本