用于销钉卡盘的加固销钉及使用这种加固销钉的销钉卡盘专利登记公告

专利名称：用于销钉卡盘的加固销钉及使用这种加固销钉的销钉卡盘

摘要：本发明通过使用复合支撑销钉结构改善旋转卡盘的耐久性与寿命，其中化学惰性塑料的销钉本体包括包含插入件的空腔，该插入件由杨氏模量大于插入件塑料的杨氏模量的材料形成。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080056623.0

专利申请（专利权）人：朗姆研究公司

专利发明（设计）人：迈克尔·布鲁格;奥托·洛奇;迪特马尔·哈默

主权项：用于处理晶片状物体的装置，包括适于在对该物体实施处理操作期间以预定方位维持晶片状物体的支撑体，以及可操作地啮合该支撑体的多个支撑销钉，该支撑销钉适于该支撑体并被相对该支撑体设置以从该物体下方或边缘将待处理的晶片状物体支撑在所述装置上，其中所述支撑销钉包括由化学惰性的疏松材料形成并定义了空腔的本体、以及设置在由杨氏模量大于该疏松材料的材料形成的所述腔内的插入件。

专利地区：奥地利