高温卡盘及其使用方法专利登记公告

专利名称：高温卡盘及其使用方法

摘要：本发明提供了通过至少一个屏蔽部件改善晶片支撑卡盘对于由温度造成的退化或变形的抵抗性能的方法，该屏蔽部件通过物理屏蔽和/或热屏蔽卡盘部件以使其免受高温处理流体的影响。

专利类型：发明专利

专利号：CN201080056625.X

专利申请（专利权）人：朗姆研究公司

专利发明（设计）人：迈克尔·布鲁格;奥托·洛奇

主权项：用于支撑晶片状物体的卡盘，其包括：本体，适于在操作期间按预定方向设置晶片状物体，所述本体包括上表面和相对所述上表面向上延伸的多个销钉，所述销钉配置成用于啮合晶片状物体的边缘或表面；及至少一个屏蔽部件，其设置在所述本体的所述上表面的至少一个和所述上表面的向上定位的所述销钉中的所述至少一个的部分的上面。

专利地区：奥地利