同轴向双进给轴量测装置专利登记公告

专利名称：同轴向双进给轴量测装置

摘要：本发明是有关于一种同轴向双进给轴量测装置，其包含一个光发射及接收模块、一个沿一第一方向与该光发射及接收模块间隔设置的第一反射镜、一个第一分光镜、一个沿一垂直于该第一方向的第二方向与该第一分光镜间隔设置的第二分光镜，及一个沿该第一方向与该第二分光镜间隔设置的第二反射镜，该第一反射镜与该光发射及接收模块之间定义出一条第一光路径，该第一分光镜沿该第一光路径介于该光发射及接收模块与该第一反射镜之间，该第二分光镜与该第一分光镜之间定义出一条第二光路径，该第二反射镜与该第二分光镜之间定义出一条第三光路径。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110006496.X

专利申请（专利权）人：财团法人精密机械研究发展中心

专利发明（设计）人：李俊德

主权项：一种同轴向双进给轴量测装置，其特征在于其包含：一个光发射及接收模块；一个第一反射镜，沿一第一方向与该光发射及接收模块间隔设置，该第一反射镜与该光发射及接收模块之间定义出一条第一光路径；一个第一分光镜，沿该第一光路径介于该光发射及接收模块与该第一反射镜之间；一个光学组件，沿一垂直于该第一方向的第二方向与该第一分光镜间隔设置，该光学组件与该第一分光镜之间定义出一条第二光路径；及一个第二反射镜，沿该第一方向与该光学组件间隔设置，该第二反射镜与该光学组件之间定义出一条第三光路径。

专利地区：台湾