微机电系统元件及用于其中的防止变形结构及其制作方法专利登记公告

专利名称：微机电系统元件及用于其中的防止变形结构及其制作方法

摘要：本发明提出一种具有防止变形结构的微机电系统(MEMS)元件，设置于基板上，包含：一动件；以及一防止变形结构，其具有：附着于该基板的一固定栓；多个金属层，其包含一最上层金属层；以及连接该多个金属层的多个金属栓；其中，该最上层金属层由俯视图视之，与该动件具有一部分重叠，且由剖面图视之，该最上层金属层的底表面高于该动件顶表面一限制高度。同时，本发明还提出一种用于微机电系统元件中的防止变形结构，以及一种微机电系统元件的制作方法。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110008099.6

专利申请（专利权）人：原相科技股份有限公司

专利发明（设计）人：王传蔚

主权项：一种微机电系统元件，设置于一基板上，其特征在于，包含：一动件；以及一防止变形结构，其具有：附着于该基板的一固定栓；多个金属层，其包含一最上层金属层；以及连接该多个金属层的多个金属栓；其中，该最上层金属层由俯视图视之，与该动件具有一部分重叠，且由剖面图视之，该最上层金属层的底表面高于该动件顶表面一限制高度。

专利地区：台湾