压控振荡器、用于检测工艺波动的测试系统及其测试方法专利登记公告

专利名称：压控振荡器、用于检测工艺波动的测试系统及其测试方法

摘要：本发明属于微电子技术领域，具体为一种压控振荡器（VCO）、用于检测工艺波动的测试系统及其测试方法。该VCO包括环形振荡器以及流控MOS管，所述环形振荡器包括奇数个CMOS反相器；其中，在流控MOS管的栅端偏置电压以使其工作于亚阈值区、进而控制流经其中一个CMOS反相器的电流，使所述压控振荡器的输出频率反映流控MOS管的阈值电压。所述测试系统基于所述的VCO形成。通过本发明的测试方法来测试芯片中不同MOS管之间的阈值电压的随机波动值。本发明的VCO电路简单，易于数字化实现。并且基于VCO的测试系统在测试工艺

专利类型：发明专利

专利号：CN201110049350.3

专利申请（专利权）人：复旦大学

专利发明（设计）人：林殷茵;董庆

主权项：一种压控振荡器，其特征在于包括环形振荡器以及流控MOS管，所述环形振荡器包括多个CMOS反相器，其中，在所述流控MOS管的栅端偏置电压以使其工作于亚阈值区、进而控制流经一个所述CMOS反相器的电流，以使所述压控振荡器的输出频率反映所述流控MOS管的阈值电压。

专利地区：上海