波像差校正装置及方法专利登记公告

专利名称：波像差校正装置及方法

摘要：一种波像差校正装置及方法。所述校正装置包括波像差测量系统，测量投影物镜的波像差；信号处理系统，对所述投影物镜的波像差进行处理并输出驱动电压信号；液体镜头，根据所述驱动电压信号产生形变进行投影物镜的波像差校正。校正方法包括波像差测量系统在像面测量波像差，计算所述投影物镜的波像差与要求值的偏差，拟合为波前误差，将所述波前误差发送到信号处理系统；所述信号处理系统将接收到的波前误差转换为液体镜头的形变偏差，根据所述液体镜头的形变偏差输出驱动直流电压；驱动直流电压使液体镜头发生形变。所述波像差校正装置及校正方法能够

专利类型：发明专利

专利号：CN201110051545.1

专利申请（专利权）人：上海微电子装备有限公司

专利发明（设计）人：段立峰;李映笙;马明英

主权项：一种波像差校正装置，其特征在于，包括：波像差测量系统，测量投影物镜的波像差；信号处理系统，对所述投影物镜的波像差进行数据处理并输出驱动电压信号；液体镜头，设置在所述投影物镜中，接受并根据所述驱动电压信号产生物理形变，用以校正所述投影物镜的波像差。

专利地区：上海