分体式气足专利登记公告
专利名称：分体式气足
摘要：本发明的分体式气足用于支撑运动台在平台上作无摩擦运动，包括气足板、设置在所述气足板底部的气浮结构、设置在所述气足板上的真空预紧力结构，所述真空预紧力结构与所述气足板分体式连接。本发明的分体式气足气浮结构与真空预紧力结构分离，避免气足板在受到真空预紧力作用时产生弯曲变形，对气浮区域产生的影响。
专利类型：发明专利
专利号：CN201110053278.1
专利申请（专利权）人：上海微电子装备有限公司
专利发明（设计）人：李进春;齐芊枫;方洁;郑椰琴;夏海;吴立伟
主权项：一种分体式气足，用于支撑运动台在平台上作无摩擦运动，包括气足板、设置在所述气足板底部的气浮结构，其特征在于，还包括设置在所述气足板上的真空预紧力结构，所述真空预紧力结构与所述气足板分体式连接。
专利地区：上海
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