一种监控离子注入机异常的方法和装置专利登记公告

专利名称：一种监控离子注入机异常的方法和装置

摘要：本发明公开了一种监控离子注入机异常的方法和装置，以提高产品的质量和降低产品的报废率。装置包括：输入隔离单元，用于接收离子注入机的剂量控制器发送的异常报警信号和传片控制器发送的注入运行信号并输出；中央处理单元，用于在接收到所述输入隔离单元输出的注入运行信号之后，当接收到所述输入隔离单元输出的异常报警信号时，输出语音报警通知消息；语音报警单元，用于根据所述中央处理单元输出的所述语音报警通知消息，进行语音报警。采用本发明技术方案，实现在离子注入机在注入过程中的真空度超出预设的真空度范围时进行报警，以确保缩短真空

专利类型：发明专利

专利号：CN201110057520.2

专利申请（专利权）人：北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司

专利发明（设计）人：林伟旺;胡德明;陈春河;黄秉诚

主权项：一种监控离子注入机异常的装置，其特征在于，包括：输入隔离单元，与离子注入机的剂量控制器和传片控制器相连接，用于接收所述剂量控制器发送的异常报警信号和所述传片控制器发送的注入运行信号，并输出所述异常报警信号和所述注入运行信号；中央处理单元，与所述输入隔离单元相连接，用于在接收到所述输入隔离单元输出的注入运行信号之后，当接收到所述输入隔离单元输出的异常报警信号时，输出语音报警通知消息；语音报警单元，与所述中央处理单元相连接，用于根据所述中央处理单元输出的所述语音报警通知消息，进行语音报警。

专利地区：北京