智能缺陷筛选及取样方法专利登记公告

专利名称：智能缺陷筛选及取样方法

摘要：一种智能缺陷筛选及取样方法，包括预先将一设计布局处理为多个基于布局的图案群，将设计布局划分为多个晶胞，重叠属于同一个图案群的多个晶胞，提取一晶圆上的多个缺陷的多个缺陷数据，映射多个缺陷至重叠的图案群来建立多个基于布局的缺陷合成图案群，对缺陷合成图案群执行布局图案匹配，对每一个缺陷合成图案群执行一些缺陷取样选择法则以判断潜在系统缺陷优先顺序，根据潜在系统缺陷优先顺序将多个缺陷合成图案群分类为不同的缺陷类型，根据缺陷类型来检视不同取样个数的多个缺陷合成图案群以取得一缺陷图像文件，对缺陷图像文件执行缺陷产生率分

专利类型：发明专利

专利号：CN201110069559.6

专利申请（专利权）人：敖翔科技股份有限公司

专利发明（设计）人：吕一云;林钦贤

主权项：一种智能缺陷筛选及取样方法，其特征在于包括：预先将一产品的设计布局处理为多个基于布局的图案群，其中该设计布局包括多个布局图案；将该设计布局划分为多个晶胞，其中所述多个晶胞中的每一个晶胞是根据其布局图案特征而属于所述多个图案群中的一个；重叠所述多个晶胞中属于同一个该图案群的多个晶胞；从一缺陷扫描及检验器具提取一晶圆上的多个缺陷的多个缺陷数据，其中所述多个缺陷数据中的每一个缺陷数据包括一缺陷尺寸及一缺陷坐标；通过映射所述多个缺陷至重叠的所述多个图案群来建立多个基于布局的缺陷合成图案群；对具有至少一个缺陷聚集布

专利地区：台湾