一种有机场效应晶体管结构及其制备方法专利登记公告
专利名称:一种有机场效应晶体管结构及其制备方法
摘要:本发明公开了一种有机场效应晶体管结构,包括绝缘衬底、栅电极、栅介质层、有机半导体层、源电极和漏电极,其中所述栅电极、栅介质层、有机半导体层、源电极和漏电极均位于所述绝缘衬底之上,并处于同一平面。本发明同时公开了一种制备有机场效应晶体管结构的方法。利用本发明,栅电极、源电极、漏电极、栅介质层和有机半导体层处于同一平面,通过将电极设计到同一平面上,避免了高分辨率电极制备过程中对有机半导体的损伤,从而能有效提高器件的良率。
专利类型:发明专利
专利号:CN201110058194.7
专利申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
专利发明(设计)人:商立伟;姬濯宇;其他发明人请求不公开姓名
主权项:一种有机场效应晶体管结构,其特征在于,该结构包括绝缘衬底、栅电极、栅介质层、有机半导体层、源电极和漏电极,其中所述栅电极、栅介质层、有机半导体层、源电极和漏电极均位于所述绝缘衬底之上,并处于同一平面。
专利地区:北京
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