一种有机场效应晶体管结构及其制备方法专利登记公告
专利名称:一种有机场效应晶体管结构及其制备方法
摘要:本发明公开了一种有机场效应晶体管结构,包括:绝缘衬底;形成于该绝缘衬底之上的栅电极;覆盖于该绝缘衬底及该栅电极之上的第一类栅介质层;形成于该第一类栅介质层表面沟道区域两侧的源漏电极;以及形成于该源漏电极之间沟道区域之上的堆叠结构。该结构能够在不增加器件面积的前提下有效地增加器件的沟道数量,形成多沟道器件,从而增加器件的驱动能力,为制备高密度的有机电路提供一种可行的思路。同时本发明还公开了一种制备有机场效应晶体管结构的方法。
专利类型:发明专利
专利号:CN201110057566.4
专利申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
专利发明(设计)人:商立伟;姬濯宇;刘明
主权项:一种有机场效应晶体管结构,其特征在于,包括:绝缘衬底;形成于该绝缘衬底之上的栅电极;覆盖于该绝缘衬底及该栅电极之上的第一类栅介质层;形成于该第一类栅介质层表面沟道区域两侧的源漏电极;以及形成于该源漏电极之间沟道区域之上的堆叠结构。
专利地区:北京
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