一种高选择性二氧化锡/碳纳米管气敏传感器件的制作方法专利登记公告

专利名称：一种高选择性二氧化锡/碳纳米管气敏传感器件的制作方法

摘要：本发明提供一种高选择性二氧化锡/碳纳米管气敏传感器件的制作方法，该方法采用Al2O3作为模板，由于模板上孔的大小结构均匀，将其浸渍在一定浓度的氯化锡溶液中，氯化锡将均匀的分布到氧化铝的表面，通过煅烧将氯化锡氧化为气敏材料氧化锡。然后，通过乙炔气体热解的方法，利用Al2O3模板的孔道结构限制其生长，最终使碳附着。将氧化铝在氢氧化钠溶液中去除后便得到了碳纳米管/二氧化锡复合材料。将合成的材料制备成传感器，和市场上的传感器进行气敏性能的比较，该材料对甲烷气体的灵敏度和选择性大大增强。本发明具有工艺简单，操作方便

专利类型：发明专利

专利号：CN201110059434.5

专利申请（专利权）人：雷振东

专利发明（设计）人：雷振东

主权项：一种高选择性二氧化锡/碳纳米管气敏传感器件的制作方法，其特征在于该方法包含以下步骤：a.首先称取一定量的Al2O3模板，并将其在马弗炉中在高温下进行预处理，其进行活化。与此同时，称取相应量的SnCl4·9H2O，并将其溶于蒸馏水中，并加入适量的盐酸以防止SnCl4的水解，在磁力搅拌器上进行搅拌；b.将预处理好的氧化铝模板加入到上述的溶液中，并进行抽真空的处理，以达到SnCl4浸入到氧化铝模板的孔道中的效果，并将铝模板取出，进行干燥，SnCl4的颗粒将均匀的分布在氧化铝模板的孔道内部；c.将上述的材料置于马

专利地区：上海