一种用于多晶硅太阳电池表面织构的腐蚀剂(FNS酸腐蚀液)专利登记公告

专利名称：一种用于多晶硅太阳电池表面织构的腐蚀剂(FNS酸腐蚀液)

摘要：本发明属于多晶硅太阳电池制造领域，涉及多晶硅太阳电池表面织构技术。按照本发明提供的腐蚀剂，腐蚀剂用酸腐蚀液制成，该腐蚀液是氢氟酸和硝酸及硫酸组成，HNO3作为氧化剂成分，在硅片表面形成SiO2层，HF作为络合剂去除SiO2层。H2SO4作为腐蚀液的催化剂和缓冲剂来控制腐蚀速率，并不影响表面织构。各组分浓度为：氢氟酸的浓度范围为13到17摩尔/升，硝酸的浓度范围为0.9摩尔/升，硫酸的浓度范围为0.5到1.1摩尔/升。本发明提供的该腐蚀剂具有成本低，污染小，易操作，腐蚀所需时间短，宜于大规模生产中应用等特点

专利类型：发明专利

专利号：CN201110062447.8

专利申请（专利权）人：张昆;刘彩池;渠朝义

专利发明（设计）人：张昆;刘彩池;渠朝义

主权项：一种用于多晶硅太阳电池表面织构的腐蚀剂，其特征在于该腐蚀剂是由氢氟酸、硝酸和硫酸组成的混合溶液，其中，氢氟酸的浓度范围为13到17摩尔/升，硝酸的浓度范围为0.9摩尔/升，硫酸的浓度范围为0.5到1.1摩尔/升。腐蚀温度为5到30摄氏度，腐蚀时间1分钟到15分钟。

专利地区：天津