一种复合型波带片光子筛专利登记公告

专利名称：一种复合型波带片光子筛

摘要：本发明公开了一种复合型波带片光子筛，包括透光衬底和镀在其上的不透光的金属薄膜，所述不透光的金属薄膜上分布有一系列透光环带和若干透光小孔。本发明所用的复合型波带片光子筛其透光小孔的直径为相应波带片环带宽度的1.5倍，相对于波带片，这些位置随机分布的透光小孔使得衍射光之间相互干涉从而能够有效地抑制旁瓣效应和高级衍射，提高分辨率，得到更为锐利的焦斑。本发明所采用的复合型波带片光子筛将普通光子筛的中间2/3部分嵌入波带环，从而增加了透过率，提高了衍射效率，使成像对比度得到了提升。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110064529.6

专利申请（专利权）人：中国科学院微电子研究所

专利发明（设计）人：谢常青;辛将;朱效立;刘明

主权项：一种复合型波带片光子筛，其特征在于，包括：透光衬底和镀在其上的不透光的金属薄膜，所述不透光的金属薄膜上分布有一系列透光环带和若干透光小孔。

专利地区：北京