一种光子筛结构专利登记公告

专利名称：一种光子筛结构

摘要：本发明公开了一种光子筛结构，该光子筛结构包括透光衬底和镀在该透光衬底上的不透光金属薄膜，所述不透光金属薄膜上分布有多个透光圆孔，该透光圆孔呈环带状分布，所述环带半径为rm、宽度为wm，其中：rm2＝2mfλ+m2λ2；对应rm上的透光圆孔的直径为：其中λ为波长，f为焦距，m为圆孔分布的环数。本发明提供的光子筛结构相对于常规光子筛，具有更高的衍射效率。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110064413.2

专利申请（专利权）人：中国科学院微电子研究所

专利发明（设计）人：谢常青;辛将;朱效立;刘明

主权项：一种光子筛结构，该光子筛结构包括透光衬底和镀在该透光衬底上的不透光金属薄膜，其特征在于，所述不透光金属薄膜上分布有多个透光圆孔，该透光圆孔呈环带状分布。

专利地区：北京