封装装置及封装方法专利登记公告
专利名称:封装装置及封装方法
摘要:本发明提供一种封装装置,包括:载物台,用于承载用于装配的封装结构,所属封装结构具有第一基板,第二基板,及设置在所述第一基板和第二基板之间,用于形成至少一腔室的熔料;辐射源,用于加热所述熔料,使其与所述第一第二基板的连接面处结合,使上述腔室形成一气密封装结构;流体源,提供流体束,所述流体束作用于所述第一基板,用于压紧所述第一基板与所述第二基板之间的熔料。
专利类型:发明专利
专利号:CN201110068089.1
专利申请(专利权)人:上海微电子装备有限公司
专利发明(设计)人:韦学志;陈勇辉
主权项:一种封装装置,其特征在于,所述封装装置包括:载物台,用于承载用于装配的封装结构,所属封装结构具有第一基板,第二基板,及设置在所述第一基板和第二基板之间,用于形成至少一腔室的熔料;辐射源,用于加热所述熔料,使其与所述第一第二基板的连接面处结合,使上述腔室形成一气密封装结构;流体源,提供流体束,所述流体束作用于所述第一基板,用于压紧所述第一基板与所述第二基板之间的熔料。
专利地区:上海
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