一种铌酸锂光波导的制备方法专利登记公告

专利名称：一种铌酸锂光波导的制备方法

摘要：本发明提供了一种铌酸锂光波导的制备方法，该方法选用掺锌或者掺镁的铌酸锂晶体，采用外加电场极化的方法在掺杂铌酸锂晶体上制作周期畴反转结构，以此为波导层，通过折射率低于波导层的光学胶与铌酸锂或者钽酸锂衬底黏胶键合，再用ICP干法刻蚀出脊形波导结构，得到铌酸锂波导。本发明采用的胶层与空气折射率更接近，所以波导中光场限制作用更强且光场呈对称分布，与单模光纤的耦合效率更高。采用黏胶键合，使得晶圆表面洁净度和粗糙度的要求要远低于直接键合的晶圆表面，工艺上更容易实现。使得此方法制备的铌酸锂光波导在增强光场限制作用，降低波导传输损耗，抑制光折变效应以及降低制作工艺难度等方面有较优越的性能。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110124344.X

专利申请（专利权）人：华中科技大学

专利发明（设计）人：孙军强;周钰杰;冯力群

主权项：一种铌酸锂光波导的制备方法，包含以下步骤：(1)选取掺锌浓度为7～9mol％的铌酸锂晶体作为波导层，掺镁浓度为5～9mol％的铌酸锂晶体作为衬底；或者选取掺镁浓度为5～9mol％的铌酸锂晶体作为波导层，钽酸锂晶体作为衬底；(2)对波导层进行周期极化，得到波导层的周期畴反转结构；(3)采用光学胶将波导层和衬底对齐黏合，所述光学胶的折射率低于波导层的折射率；(4)将波导层的厚度减少至所设计的波导高度；(5)将所设计的波导结构图形光刻到波导层上；(6)将波导层刻蚀成脊形结构，即得到铌酸锂光波导。

专利地区：湖北