制造底部发射型有机发光显示装置的方法专利登记公告

专利名称：制造底部发射型有机发光显示装置的方法

摘要：本发明公开了一种制造底部发射型有机发光显示装置的方法，所述方法包括：在具有晶体管区域和电容器区域的基底上形成硅层和栅极绝缘膜；在基底上形成半色调光致抗蚀剂；将硅层和栅极绝缘膜图案化；通过使半色调光致抗蚀剂经历灰化工艺以在晶体管区域上方留下一部分半色调光致抗蚀剂，来形成残留的光致抗蚀剂；通过在基底的整个区域上方施加杂质来用杂质掺杂硅层的至少一部分。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110243903.9

专利申请（专利权）人：三星移动显示器株式会社

专利发明（设计）人：朴钟贤;柳春其;朴鲜;李律圭;文相皓

主权项：一种制造底部发射型有机发光显示装置的方法，所述方法包括：在包括晶体管区域和电容器区域的基底上形成硅层和栅极绝缘膜；在基底上形成半色调光致抗蚀剂；将硅层和栅极绝缘膜图案化；通过使半色调光致抗蚀剂经历灰化工艺以在晶体管区域上方留下一部分半色调光致抗蚀剂，来形成残留的光致抗蚀剂；通过在基底的整个区域上方施加杂质来用杂质掺杂硅层的至少一部分。

专利地区：韩国