光照射装置专利登记公告

专利名称：光照射装置

摘要：本发明提供一种可形成忠于遮罩的图案且高分辨率的图案的光照射装置。该光照射装置具备：光射出部，具有多个光源元件沿一方向并排配置而成的光源元件列，所述光源元件由短弧型的放电灯，及以包围该放电灯的方式配置，将来自该放电灯的光线反射成与其光轴平行方向的反射器构成；及遮罩，分别沿垂直于前述一方向的方向延伸的线状的多个遮光部及多个透光部，交替地沿前述一方向并排配置而成；具有光吸收性的多个遮光板的每个，以分别沿着前述反射器的光轴而相对于前述一方向垂直延伸的姿势，沿前述一方向并排配设。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110296195.5

专利申请（专利权）人：优志旺电机株式会社

专利发明（设计）人：仲田重范

主权项：一种光照射装置，其特征为：具备：光射出部，具有多个光源元件沿一方向并排配置而成的光源元件列，所述光源元件由短弧型的放电灯，及以包围该放电灯的方式配置，将来自该放电灯的光线反射成与其光轴平行方向的反射器构成；及遮罩，分别沿垂直于前述一方向的方向延伸的线状的多个遮光部及多个透光部，交替地沿前述一方向并排配置而成；具有光吸收性的多个遮光板的每个，以分别沿着前述反射器的光轴而相对于前述一方向垂直延伸的姿势，沿前述一方向并排配设。

专利地区：日本