形成于薄片上的图案的位置及形状测定装置专利登记公告

专利名称：形成于薄片上的图案的位置及形状测定装置

摘要：本发明提供一种形成于薄片上的图案的位置及形状测定装置，其实现对位置及形状进行测定时的校正的简化。具有：薄片，其形成有图案；照相机保持机构，其与该薄片的输送方向正交而配置；照相机，其配置为可以沿该照相机保持机构的长度方向移动；以及图像处理计算机，其对由该照相机拍摄的图像进行处理，在校正时，基于上述涂敷图案和校正用基准体的拍摄图像，进行校正。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110303350.1

专利申请（专利权）人：横河电机株式会社

专利发明（设计）人：市泽康史;千田直道;阿久津实

主权项：一种形成于薄片上的图案的位置及形状测定装置，其特征在于，具有：薄片，其形成有图案；照相机保持机构，其与该薄片的输送方向正交而配置；照相机，其配置为可以沿该照相机保持机构的长度方向移动；以及图像处理计算机，其对由该照相机拍摄的图像进行处理，在校正时，基于所述涂敷图案和校正用基准体的拍摄图像，进行校正。

专利地区：日本