X射线位置测量装置、该装置的位置测量方法、以及该装置的位置测量用程序专利登记公告

专利名称：X射线位置测量装置、该装置的位置测量方法、以及该装置的位置测量用程序

摘要：本发明提供一种能够在不增加成本的前提下实现高精度位置测量的X射线位置测量装置。X射线位置测量装置10包括使X射线发射器10a与X射线照相机10b向在测量对象上进行位置测量的位置移动的第1移动单元；用于在进行位置测量的位置，对图像显示部中的基准位置与第2X射线投影图像的位置之间的位置偏移量进行测量，同时将位置偏移量作为对应于该测量位置的补正量，存储在存储部的第1测量存储单元；用于使X射线发射器10a和X射线照相机10b向进行位置测量的位置移动的第2移动单元；以及用于在进行位置测量的位置，根据所述补正量使X射

专利类型：发明专利

专利号：CN201110318863.X

专利申请（专利权）人：精工精密有限公司

专利发明（设计）人：樫村恒夫;阿须贺拓

主权项：一种X射线位置测量装置，其特征在于，包括：X射线发射器与X射线照相机、工件载置台，用于载置测量对象、第1移动部，用于使所述X射线发射器沿着该工件载置台台面向所述工件载置台上的测量对象移动、第2移动部，用于使所述X射线照相机沿着该工件载置台台面向所述该工件载置台上的测量对象移动、图像显示部，从所述X射线发射器发射出来的、穿透所述测量对象的X射线作为第1X射线投影图像投影在该图像显示部上、位置补正用夹具，配置在所述X射线发射器与所述X射线照相机之间，用于使所述X射线发射器发射出的X射线作为能够把握位置的第2X

专利地区：日本