用于产生等离子体的天线单元和包括所述天线单元的基板处理装置专利登记公告
专利名称：用于产生等离子体的天线单元和包括所述天线单元的基板处理装置
摘要：一种用于产生等离子体的天线单元包括：包括第一接入部分和从所述第一接入部分分离出来的多个第一子天线的第一天线；以及包括第二接入部分和从所述第二接入部分分离出来的多个第二子天线的第二天线，所述第一接入部分和所述第二接入部分构成共轴线。
专利类型：发明专利
专利号：CN201110319200.X
专利申请（专利权）人：周星工程股份有限公司
专利发明（设计）人：张容准
主权项：一种用于产生等离子体的天线，包括：第一天线，包括第一接入部分和从所述第一接入部分分离出来的多个第一子天线；以及第二天线，包括第二接入部分和从所述第二接入部分分离出来的多个第二子天线，所述第一接入部分和所述第二接入部分构成共轴线。
专利地区：韩国
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