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测试分选机专利登记公告


专利名称:测试分选机

摘要:本发明涉及测试分选机用温度调节用装置。根据本发明,公开以下技术。即,通过将用于向每一个半导体元件供给温度调节用空气而设置的风道的内部空间分隔成多个分隔空间,并且通过多个温度调节器向每一个分隔空间供给温度调节用空气,从而能够精确地调节半导体元件的温度。

专利类型:发明专利

专利号:CN201110320066.5

专利申请(专利权)人:泰克元有限公司

专利发明(设计)人:罗闰成;具泰兴;夫哲圭

主权项:一种测试分选机,其特征在于,包括:测试盘,能够装载多个半导体元件;测试室,用于使装载于所述测试盘的多个半导体元件能够在所要求的条件的温度状态下进行测试;匹配板,设置在所述测试室内,用于当所述测试盘容置在所述测试室内时,将装载于所述测试盘上的多个半导体元件推向测试机侧以使半导体元件电连接于测试机侧;温度调节装置,用于将位于所述测试室内的测试盘所装载的半导体元件调节成所要求的条件的温度状态,所述温度调节装置包括:风道,具有用于使温度调节用空气流入到内部空间的至少两个流入口,并且前面形成有用于喷射温度调节用空气

专利地区:韩国