正型光敏树脂组合物，利用其制备的光敏树脂膜，和包括该光敏树脂膜的半导体器件专利登记公告

专利名称：正型光敏树脂组合物，利用其制备的光敏树脂膜，和包括该光敏树脂膜的半导体器件

摘要：本发明公开了一种正型光敏树脂组合物，包括：(A)碱溶性树脂；(B)包括由化学式6表示的化合物的溶解控制剂；(C)光敏重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；和(E)溶剂，以及使用该正型光敏树脂组合物制备的光敏树脂膜和该光敏树脂膜的半导体器件。本发明的正型光敏树脂组合物具有优异的膜残留率、敏感度和分辨率。[化学式6]

专利类型：发明专利

专利号：CN201110349054.5

专利申请（专利权）人：第一毛织株式会社

专利发明（设计）人：车明焕;李种和;任美罗;郑闵鞠;郑知英;赵显龙;田桓承

主权项：一种正型光敏树脂组合物，包括(A)碱溶性树脂；(B)包括由以下化学式6表示的化合物的溶解控制剂；(C)光敏重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；和(E)溶剂；[化学式6]其中，在化学式6中，Z1和Z2相同或不同，并且各自独立地是单键、?O?、?CO?、?CONH?、?S?、?SO2?、取代的或未取代的C1至C10亚烷基氧基?OR203?，其中R203是取代的或未取代的亚烷基，或取代的或未取代的C6至C15亚芳基氧基?OR204?，其中R204是取代的或未取代的亚芳基，G1是氢、取代的或未取代的C1至C30脂肪族

专利地区：韩国