正型光敏树脂组合物，使用其制备的光敏树脂膜，以及包括该光敏树脂膜的半导体器件专利登记公告

专利名称：正型光敏树脂组合物，使用其制备的光敏树脂膜，以及包括该光敏树脂膜的半导体器件

摘要：本发明披露了一种正型光敏树脂组合物，包括(A)碱溶性树脂；(B)包括由化学式6表示的重复单元的酚醛树脂；(C)光敏性重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；和(E)溶剂，以及利用该正型光敏树脂制备的光敏树脂膜，和包括该光敏树脂膜的半导体器件。本发明的正型光敏树脂组合物具有优异的敏感度、可显影能力、膜残留率、和分辨率、以及较低的膜收缩比率。[化学式6]

专利类型：发明专利

专利号：CN201110378325.X

专利申请（专利权）人：第一毛织株式会社

专利发明（设计）人：李种和;赵显龙;任美罗;田桓承;郑闵鞠;郑知英;车明焕

主权项：一种正型光敏树脂组合物，包括：(A)碱溶性树脂；(B)酚醛树脂，包括由以下化学式6表示的重复单元；(C)光敏性重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；以及(E)溶剂，[化学式6]其中，在化学式6中，每个重复单元中的R7是相同的或不同的，并且各自独立地是取代的或未取代的C1至C20脂肪族有机基团，基于所述酚醛树脂中包括的重复单元中总量100mol％的R7，50mol％或更多的R7位于相对于羟基基团(OH)的间位。FDA0000111967500000011.tif

专利地区：韩国