用于导线键合系统的成像操作专利登记公告

专利名称：用于导线键合系统的成像操作

摘要：本发明提供了一种对半导体器件的特征物成像的方法。所述方法包括以下步骤：(a)对半导体器件的第一部分成像以形成第一成像部分；(b)对所述半导体器件的后续部分成像以形成后续成像部分；(c)将所述后续成像部分添加至所述第一成像部分以形成组合成像部分；以及(d)比较所述组合成像部分与特征物的参考图像以确定所述组合成像部分与所述特征物的所述参考图像的相关性等级。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110375436.5

专利申请（专利权）人：库利克和索夫工业公司

专利发明（设计）人：P·W·苏克罗;王志杰;D·索德;P·M·利斯特

主权项：一种对半导体器件的特征物成像的方法，所述方法包括以下步骤：(a)对半导体器件的第一部分成像，以形成第一成像部分；(b)对所述半导体器件的后续部分成像，以形成后续成像部分；(c)将所述后续成像部分添加至所述第一成像部分，以形成组合成像部分；以及(d)比较所述组合成像部分与特征物的参考图像，以确定所述组合成像部分与所述特征物的所述参考图像的相关性等级。

专利地区：美国