基板移送装置专利登记公告

专利名称：基板移送装置

摘要：本发明涉及基板移送装置，包括：底架；臂机构，包括多个臂；驱动单元，移动所述臂中的某一个；联动机构，包括多个小齿轮和多个齿条，所述小齿轮为了使所述臂联动地移动而将所述驱动单元的直线运动转换成旋转运动，所述齿条与所述小齿轮啮合，并将所述小齿轮的旋转运动转换成直线运动。根据本发明，能够减小整体尺寸的同时实施用于执行对基板的装载工序和卸载工序而移动较长行程，通过利用小齿轮和齿条，即使在执行对基板的装载工序和卸载工序的过程中温度发上变化也能够将基板移动精确距离。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110385151.X

专利申请（专利权）人：未来产业株式会社

专利发明（设计）人：金孝元;裵光明;郑贤应;金玄东

主权项：一种基板移送装置，其特征在于，包括：底架，设有底部齿条；移动臂，结合有与所述底部齿条啮合的移动小齿轮，并且可移动地结合在所述底架上；驱动单元，为了转动所述移动小齿轮而移动所述移动臂；连接机构，结合有随着所述移动小齿轮的旋转而移动的连接齿条及随着所述连接齿条的移动而旋转的连接小齿轮，当所述移动臂从所述底架突出地移动时，从所述移动臂向所述移动臂突出的方向突出地移动；以及支承臂，用于支承基板，并且结合有随着所述连接小齿轮的旋转而移动的支承齿条；当所述连接机构从所述移动臂突出地移动时，所述支承臂从所述连接机构向所

专利地区：韩国