行进车系统专利登记公告

专利名称：行进车系统

摘要：本发明提供一种行进车系统。行进车系统具备实施基板的保管或规定的处理的基板处理装置、使基板在收容在基板盒(1)中的状态下沿上下方向升降的升降部(10)、将基板盒(1)朝向基板处理装置水平移动的水平移动部(8a、8b)、将基板盒(1)沿着朝向基板处理装置设置的轨道输送的无人行进台车(AG)、和在轨道(L)的上方保持并保管基板盒(1)的基板盒保管部(BF1)。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210048074.3

专利申请（专利权）人：株式会社IHI

专利发明（设计）人：石桥希远;村山晋;和田芳幸;大野俊孝

主权项：一种行进车系统，其特征在于，具备：基板处理装置，实施基板的保管或规定的处理；无人行进台车，具有使上述基板在收容在基板盒中的状态下沿上下方向升降的升降部以及将上述基板盒朝向上述基板处理装置水平移动的水平移动部，将上述基板盒沿着朝向上述基板处理装置设置的轨道输送；基板盒保管部，在上述轨道的上方保持并保管基板盒。

专利地区：日本